設(shè)備簡介
KC3110功率半導(dǎo)體高精度靜態(tài)特性測試系統(tǒng)，基于全新三代半SiC, GaN器件和模塊以及車規(guī)級模塊的新興要求而進(jìn)行的一次高標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品開發(fā)。本系統(tǒng)可以在3KV和1000/2000A的條件下實(shí)現(xiàn)精確測量和參數(shù)分析，漏電流測試分辨率高達(dá)fA級，電壓測試分阱率最高可這nV級，以及3000V高壓下的寄生電容的精密測量。全自動程控軟件，圖型化上位機(jī)操作界面。內(nèi)置開關(guān)切換矩陣保證測試效率。模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)預(yù)留升級擴(kuò)展?jié)撃?。測試接口可外掛各類夾具和適配器，還能夠通過專用接口連接各種Handler：如分選機(jī)、機(jī)械手、探針臺、編帶機(jī)等。
適用產(chǎn)品
可測Si, SiC, GaN材料的IGBTs, DIODEs, LED, MOSFETs, BJTs, HEMTs, 電容，光耦，
參考標(biāo)準(zhǔn)
IEC 60747-8/9 半導(dǎo)體分立器件第8/9部分/JEDEC標(biāo)準(zhǔn)
設(shè)備特點(diǎn)
KC-3110系 統(tǒng) 包 含 ： 硬 件 平 臺 + 實(shí) 時 軟 件 ， 可 測 試 靜態(tài)特性、IV 曲線、容阻測試（Rg、Cxss）、CV 曲線；，主要特點(diǎn)如下:
適用于功率器件、功率模塊直流特性分析，最高可達(dá)3000V/1000A在高達(dá)3000V直流偏置下，完全自動化的電容（ Ciss、 Coss、Crss等）測量；
高效率：內(nèi)置開關(guān)矩陣，自動切換測量單元，提高生產(chǎn)測試效率；
模塊化：根據(jù)測試需求搭配不同規(guī)格測量單元。
在線高低溫箱:選裝-50℃~﹢150℃(最高 200℃)專用高精度實(shí)時在線高低溫箱，支持 48 工位和 98 工位。圓形旋轉(zhuǎn)盤，溫度均勻性優(yōu)秀選配溫控模塊也可與第三方溫箱實(shí)現(xiàn)聯(lián)動控制。
具備數(shù)據(jù)管理功能，上位機(jī)可實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)曲線、報告及自動保存；
IV曲線：2K點(diǎn)以內(nèi)的 IV 曲線實(shí)時掃描；
CV曲線：柵電阻 Rg、反向傳輸電容 Cres、輸入電容 Cies、輸出電容 Coes、CV 曲線
軟件界面
軟件功能完備并高可擴(kuò)展性，基于LINUX平臺開發(fā)，穩(wěn)定高效、配備工控機(jī)。 保存與記錄試驗(yàn)數(shù)據(jù).
數(shù)據(jù)管理功能完整，具有操作界面與上位機(jī)，可實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)自動保存與生成測試報告
技術(shù)參數(shù)
