設(shè)備簡介
KC3111功率半導體高精度靜態(tài)特性測試系統(tǒng)（面向工廠生產(chǎn)端），基于全新三代半SiC, GaN器件和模塊以及車規(guī)級模塊的新興要求而進行的一次高標準產(chǎn)品開發(fā)。脈沖信號源輸出方面，高壓源標配2000V（選配3.5KV）,高流源標配1KA（選配4KA多模塊并聯(lián)）,柵極電壓30V。采用多量程設(shè)計架構(gòu)，各量程下均可保證0.1%精度，具有uΩ級精確測量，pA 級漏電流測量能力。全自動程控軟件，圖型化上位機操作界面。內(nèi)置開關(guān)切換矩陣保證測試效率。模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計預留升級擴展?jié)撃?。測試接口可外掛各類夾具和適配器，還能夠通過專用接口連接各種Handler：如分選機、機械手、探針臺、編帶機等。
適用產(chǎn)品
可測Si, SiC, GaN 材料的IGBTs, DIODEs, LED,MOSFETs, BJTs, HEMTs, 電容，光耦等產(chǎn)品的生產(chǎn)測試。
參考標準
IEC 60747-8/9 半導體分立器件第8/9部分/JEDEC標準
設(shè)備特點
KC-3111系 統(tǒng) 包 含 ： 硬件平臺 + 實時軟件，可測試靜態(tài)特性、IV 曲線、容阻測試（Rg、Cxss）、CV 曲線；主要特點如下:
量程寬：電壓 2KV/3.5KV；電流 1KA/2KA/3KA/4000A（模塊并聯(lián)）高精度：多量程設(shè)計架構(gòu)，各量程下均可保證 0.1%精度，具有 uΩ級精確測量、pA 級漏電流測量；
高效率：內(nèi)置開關(guān)矩陣，自動切換測量單元，提高生產(chǎn)測試效率；
模塊化：根據(jù)測試需求搭配不同規(guī)格測量單元。
在線高低溫箱:選裝-50℃~﹢150℃(最高 200℃)專用高精度實時在線高低溫箱，支持 48 工位和 98 工位。圓形旋轉(zhuǎn)盤，溫度均勻性優(yōu)秀選配溫控模塊也可與第三方溫箱實現(xiàn)聯(lián)動控制；
具備數(shù)據(jù)管理功能，上位機可實現(xiàn)數(shù)據(jù)曲線、報告及自動保存；
IV曲線：2K點以內(nèi)的 IV 曲線實時掃描；CV曲線：柵電阻 Rg、反向傳輸電容 Cres、輸入電容 Cies、輸出電容 Coes、CV 曲線。
軟件系統(tǒng)
技術(shù)參數(shù)
